政策标准
无尘室手套的测试标准 《IEST-RP-005.3》
【提要】 由于高科技产品的精度越来越高,愈来愈多的产品被要求在相对洁净的无尘室中生产、包装、测试,如电脑的磁头、硬盘、LCD、数码像机、光学电子等行业。在这些行业中,会使用到大量的无尘室专用手套用于保护产品、人员、环境等。
由于高科技产品的精度越来越高,愈来愈多的产品被要求在相对洁净的无尘室中生产、包装、测试,如电脑的磁头、硬盘、LCD、数码像机、光学电子等行业。在这些行业中,会使用到大量的无尘室专用手套用于保护产品、人员、环境等。从污染的角度理解,人被视为洁净室内最大的污染物发生源,操作人员通过穿上特殊的服装系统来保护洁净室环境,免受人员产生的污染物的污染。手套作为这种服装系统的重要组成部分,不但具有充分的防护作用,同时不会污染受控环境中生产工艺的关键区域,所以手套的作用很关键。IEST-RP-005.3主要就手套的原料、生产、包装、测试等做了详细的规定。
到底该选用何种手套在无尘室中使用,IEST没有明确的规定,但是建议从产品的精度、无尘室的级别、成本核算等方面综合考虑。一般来说,如果是ISO 5级或以上的无尘室,建议使用丁腈橡胶手套;如果是生产晶圆、磁头、硬盘、光学仪器等应使用丁腈橡胶手套。
由于手套多数时候是和产品直接接触的,所以对其品质要求是非常严格的,IEST标准要求对生产后的手套,在使用前必须进行清洗以及测试合格后方可使用。测试主要分四部分:外观检查、物理测试、ESD性能测试、化学测试。下面主要介绍一下化学方面的测试。
要做化学测试,首先需要专门的仪器、环境、水源、辅助系统等支持,即需要建造一个实验室。这是一笔相当大的开支,多数企业不会选择自己做测试,选用专门的有资格的实验室测试是一个好的办法,不过需要付出一定的测试费用。
由于对产品的影响多是微观因素,即一些肉眼看不见的尘粒子、微生物等,所以测试手套也是从微观方面做出分析:
1.LPC测试(液态尘粒测试):LPC测试是将被测物浸泡于DI水中,再进行1分钟的超声波震荡,将附着在被测物上的尘粒溶解于DI水中,然后计算DI水中液态尘粒的数量的方法。该测试是检查手套洁净度的一种重要测试方法,主要看手套会跌落多少对产品有影响的尘粒,如磁头行业,对于大于或等于0.5um的尘粒,不能超过3000个每平方厘米(@0.5um<=3000counts/cm^2)。
2.NVR(非挥发性残留物)测试:是测试手套上非挥发性残留物含量的一种测试方法,测试时,用一定量的溶剂对被测试部位进行淋洗或浸泡,收集淋洗或浸泡后的溶液使溶剂挥发,用微量天平称量残留物,即可得出手套上非挥发性残留物的含量.NVR超标可知手套表面有非挥发性残留物污染。在电脑硬盘行业,一般规定NVR<20ug/cm^2。
3.FTIR(傅立叶红外线光谱)测试:由于产品的要求,无尘室不允许有硅油、氨基化合物、DOP等物质存在,因为该些物质会影响到产品的质量。因此,对手套必须进行FTIR测试。测试时,用一定量的溶剂对被测试部位进行淋洗或浸泡,收集淋洗或浸泡后的溶液使溶剂挥发,将残留物作红外线光谱分析。这种方法可以分析出手套上是否残留有硅油、氨基化合物、DOP等。(注意:该测试的结果如果合格,则表示上述三种残留物没有超过敏感线,并不表示完全没有)。
4.IC(离子测试):是将被测物浸泡于DI水中,再进行超声波震荡,将附着在被测物上的无机阴阳离子溶解于DI水中,然后再进行色谱分析的方法。IC测试可测出被测物上阴阳离子的种类,及每种离子的含量。该测试最常监控的离子是Cl-、NO3-、SO4-、PO4-等,一般总重量不能超过1.0(Total<1.0)。
5.GC(有机挥发物色谱测试):是用来分析手套上有机污染物的种类和含量的一种方法。测试时,将手套加温到一定温度,使有机污染物挥发,将挥发出来的气体收集起来,进行色谱分析,可得出有机污染物的种类和含量,当GC测试超标时,说明手套上的有机污染物超标。一般在磁头行业其标准控制在10ug/g(Total:GC<10ug/g)。
以上测试是行业中最常规的几种测试,同时IEST还规定了如硫化氢测试、耐腐蚀测试、灰烬测试等,企业可以根据产品的需要做出适当的选择。